Desde el establecimiento del campo de concentración de Auschwitz I en mayo de 1940 hasta la liberación de los últimos prisioneros de Auschwitz en enero de 1945, unos 8.200 miembros de las SS estaban de servicio en Auschwitz y sus subcampos. De los aproximadamente 6.500 sobrevivientes de este grupo de personas, apenas un total de 800 se llevó ante la justicia por su participación en el asesinato en masa después del nacionalsocialismo.
Unos 650 miembros de las SS tuvieron que responder ante tribunales polacos, entre ellos el primer comandante del campo de concentración Auschwitz I, el oficial de las SS, Obersturmbannführer (teniente coronel) Rudolf Hoess. Ya en el Proceso de Núremberg de 1946, Hoess había admitido el asesinato en masa mediante gasificación. Durante el cautiverio británico rindió una confesión completa. Después de la extradición de Hoess a Polonia, en marzo de 1947, un tribunal de este país le condenó como criminal de guerra a morir en la horca. El 16 de abril de 1947, Hoess fue ejecutado en el lugar de su crimen, en el terreno del campo de concentración de Auschwitz. Igualmente en Polonia, un tribunal del llamado proceso de Auschwitz en Cracovia en diciembre de 1947 dictó las sentencias contra 40 antiguos miembros del equipo SS para el campo. Veinte acusados fueron condenados a muerte y también ejecutados por su participación en el genocidio, entre ellos como antiguo oficial más alto, Arthur Liebehenschel, quién fue comandante del campo de Auschwitz I entre noviembre de 1943 y mayo de 1944.