מאז הקמת מחנה 'אושוויץ I' במאי 1940 ועד לשחרורם של שבויי אושוויץ האחרונים בינואר 1945, שירתו בחיל המצב של אושוויץ ובמחנות המשנה כ-8,200 אנשי אס אס. מתוך כ-6,500 ניצולים מקבוצה זו של אנשים, רק כ-800 מהם הועמדו למשפט בגין מעורבותם ברצח ההמוני.
כ-650 מחברי האס אס הועמדו למשפט בפולין ובהם מפקד המחנה הראשון של 'אושוויץ I', אוֹבר-שטורמבאנפיהרר לשעבר רודולף הס. הס כבר התוודה על רצח המוני בגז במהלך משפטי נירנברג ב-1946 ומסר הודאה מקיפה בעת שהייתו בשבי הבריטי. לאחר שהוסגר לפולין, בית משפט פולני גזר עליו במארס 1947 מוות בתלייה בגין פשעי מלחמה. ב-16 באפריל 1947 הס הוצא להורג במקום שבו ביצע את פשעיו, באושוויץ. במשפט שנודע כ'משפט אושוויץ הראשון' שהתקיים בקרקוב בנובמבר ובדצמבר 1947, פסק בית משפט פולני נוסף נגד 40 מחברי חיל המצב של האס אס לשעבר. עשרים נאשמים, ביניהם ארתור ליבהנשל, שהיה הקצין הבכיר ביותר ומי ששימש כמפקד מחנה 'אושוויץ I' מנובמבר 1943 ועד מאי 1944, נידונו למוות והוצאו להורג בגין מעורבותם ברצח עם.
